指南针为流概述(MFC校准的例子)

流概述的指南针,它能做什么,以及如何设置它。使用校准质量流量控制器的一个例子(MFC),使用MFC来控制流量的测试。

见以下附件。200年的一个是设置一个例子scccm H2 MFC在氮气中运行。

数据文件(.dat)和报告(. doc) 50 sccm H2 MFC在氮气中运行。